國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場呈現(xiàn)出強勁的增長勢頭。根據(jù)公開的招標(biāo)采購數(shù)據(jù),半導(dǎo)體制造相關(guān)設(shè)備的國產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量持續(xù)在高位運行,這標(biāo)志著國內(nèi)廠商的市場份額有望迎來快速提升。這一趨勢背后,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的迫切需求、國家政策的大力支持以及國內(nèi)廠商在核心技術(shù)上的不斷突破。
市場現(xiàn)狀:國產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)率攀升,替代進程加速
從各大晶圓廠、存儲廠的招標(biāo)信息來看,在刻蝕、薄膜沉積、清洗、檢測等多個關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié),國內(nèi)領(lǐng)先設(shè)備廠商的中標(biāo)數(shù)量和占比顯著增加。這不僅體現(xiàn)在成熟制程的擴產(chǎn)線上,在一些先進工藝的研發(fā)和試產(chǎn)線上,也出現(xiàn)了更多國產(chǎn)設(shè)備的身影。高頻次、大批量的中標(biāo),直接反映了下游客戶對國產(chǎn)設(shè)備認可度和信任度的提高,國產(chǎn)設(shè)備的驗證周期正在縮短,導(dǎo)入步伐正在加快。
驅(qū)動因素:多重利好疊加,構(gòu)筑成長堅實基礎(chǔ)
1. 政策與資金強力支持:國家層面將半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)置于戰(zhàn)略高度,通過“大基金”二期、稅收優(yōu)惠、研發(fā)補貼等多種方式,為設(shè)備企業(yè)的研發(fā)和市場化提供堅實后盾。
2. 供應(yīng)鏈安全需求迫切:全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的不確定性,使得國內(nèi)芯片制造企業(yè)將供應(yīng)鏈安全擺在首位,主動尋求并培育國產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商,形成了緊密的“產(chǎn)線-設(shè)備”協(xié)同創(chuàng)新模式。
3. 技術(shù)積累與突破:經(jīng)過多年的深耕,國內(nèi)頭部設(shè)備企業(yè)在部分細分領(lǐng)域已實現(xiàn)從“可用”到“好用”的跨越,技術(shù)指標(biāo)與國際主流產(chǎn)品的差距逐步縮小,具備了替代進口的實力。
4. 龐大的本土市場需求:中國是全球最大的半導(dǎo)體消費市場,也是新建晶圓產(chǎn)能最集中的地區(qū)。持續(xù)擴張的產(chǎn)能為國產(chǎn)設(shè)備提供了廣闊的試煉場和應(yīng)用空間。
核心標(biāo)的梳理:聚焦各細分賽道龍頭
在國產(chǎn)替代的浪潮中,各細分領(lǐng)域的龍頭企業(yè)憑借先發(fā)優(yōu)勢和技術(shù)壁壘,最為受益。
- 刻蝕設(shè)備:作為晶圓制造的核心設(shè)備之一,該領(lǐng)域國產(chǎn)化進展顯著。中微公司在CCP刻蝕領(lǐng)域已進入國際第一梯隊,并積極拓展ICP刻蝕及薄膜設(shè)備;北方華創(chuàng)的ICP刻蝕設(shè)備在邏輯、存儲等多條產(chǎn)線上獲得重復(fù)訂單。
- 薄膜沉積設(shè)備:包括PVD、CVD、ALD等。北方華創(chuàng)的PVD設(shè)備在國內(nèi)領(lǐng)先,并廣泛用于多個產(chǎn)線;拓荊科技專注于PECVD、ALD等薄膜設(shè)備,產(chǎn)品已用于先進邏輯和存儲芯片制造。
- 清洗設(shè)備:盛美上海、至純科技、北方華創(chuàng)等公司在單片清洗、槽式清洗等設(shè)備上實現(xiàn)突破,客戶覆蓋廣泛,訂單飽滿。
- 過程控制與檢測設(shè)備:中科飛測、精測電子、上海睿勵等企業(yè)在量測、缺陷檢測等環(huán)節(jié)不斷取得進展,是保障芯片良率的關(guān)鍵,國產(chǎn)化空間巨大。
- 其他關(guān)鍵設(shè)備:華海清科的CMP設(shè)備、芯源微的涂膠顯影設(shè)備、萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通的離子注入機等,均在各自領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了國產(chǎn)零的突破或批量銷售。
前景展望與挑戰(zhàn)
隨著國內(nèi)晶圓產(chǎn)能的持續(xù)建設(shè)與爬坡,以及設(shè)備技術(shù)的迭代升級,半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化率有望進入快速提升通道。具備核心技術(shù)和持續(xù)創(chuàng)新能力的龍頭企業(yè),將迎來巨大的成長機遇。
挑戰(zhàn)依然存在。全產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同、關(guān)鍵零部件與材料的自主可控、在更先進制程上與國際巨頭的競爭,都是需要長期攻堅的課題。但毋庸置疑,當(dāng)前的市場趨勢為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備商提供了一個歷史性的發(fā)展窗口,行業(yè)的成長邏輯堅實而清晰。